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當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心干燥箱系列HMDS真空鍍膜機(jī)/真空烘箱
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干燥箱系列
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HMDS真空鍍膜機(jī)/真空烘箱,在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要。
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